Первым фильмом со сверхъестественными явлениями, который можно назвать фильмом ужасов появился еще в Жоржа Мальеса в конце 1890-х годов, одна из самых известных его работ - это фильм 1896-го года «Замок дьявола» ', также это первый фильм в котором использовались примитивные спецэффекты .

Первым российским фильмом ужасов считают фильм «Вий» (1909) немой художественный короткометражный фильм Василия Гончарова .

В начале 30-х годов компания Universal Pictures выпускает фильм ужасов Дракула по одноименному роману Брэма Стокера , который сразу же становится очень известным. В 1941 году Universal выпускает фильм «Человек-волк» . В 1950 годы фильмы ужасов стали отличаться от своих предшественников. У них стала пропадать готическая атмосфера и впоследствии они разделились на три группы:

• психологические фильмы ужасов ( «Психо» (1960) Альфреда Хичкока)
• фильмы о пришельцах из космоса и мутантов ( «Что-то из другого мира» (1951) Кристинана Ниби)
• фильмы на демонические темы ( "Ребенок Розмари" (1968) Романа Полански)